半導体工場のクリーンルームとはどのようなものか?1716view

半導体製品を作っているクリーンルームとはどのようなところでしょうか?
宇宙服みたいな格好で作業しているのを見たことがありますが、危険な仕事ではないでしょうか?
よくわからないので教えて下さい。

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回答

3件の回答

  1. dotti 2016/12/21 17:21

    クリーン化技術を担当しているものです。
    実は、クリーンルーム全体の清浄度にも限界があります。クリーンルーム内では、材料となる円盤状のシリコンウェーハはロットと呼ばれる単位で専用の入れ物に収めて管理・運搬されます。
    最近ではこの専用の入れ物を気密にして局所的にゴミの無い、よりクリーンな環境を実現するという技術も採用されています。

  2. sapalazzi 2016/12/19 16:24

    クリーンルーム内は要求される清浄度(ゴミの少なさのレベル)で保たれています。
    クリーンルームを使う業界は、薬品製造、食品加工、病院の手術室など半導体の他にもありますが、その中でも半導体の生産ラインはクラス1~100という最も高いレベルでの管理が求められます。
    私は骨折の手術のため手術室に入ったことがありますが、その管理状況を見ると半導体のそれとは比べ物にならないほど劣悪で、正直不安を感じました・・・(汗)

    クリーンルーム内では、製品にゴミが付着しないように気流もコントロールされています。また、外からのゴミが侵入して来ないようにクリーンルーム内の気圧を高くしてあります。
    私が勤務した工場の新しい生産ラインでは天井から吹き降ろした空気の流れが床下へ抜けていく方式でした。

    クリーンルーム内で使用する物、例えば、工具、装置の部品、電子機器、パソコン等も事前にアルコールで拭き上げたり、エアガンでゴミを吹き飛ばしたりした後、中継用の部屋に入れて人間同様に空気のシャワーを浴び、ゴミを除去してからクリーンルーム内に持ち込まれます。
    また、クリーンルーム内で使用する物はゴミを出さない事が考慮されたものばかりです。例えば、ゴミの出ない材質でできたノートやゴミの出ないインク素材のペンなど。
    ウェーハ工程などと呼ばれる前半の製造工程においては、特にゴミを嫌います。集積度が上がるに従って、回路を形成する線の幅も細くなるため、ごく微小なゴミであっても付着すれば半導体製品の機能や性能に影響し不良の原因となってしまいます。

    ご参考になれば。

  3. doris-mm 2016/12/16 22:03

    半導体を作る現場はゴミを非常に嫌います。そのため、工場内ではゴミに対する意識付けが徹底されています。
    私が勤務していた工場は、建物の中も外も清掃が行き届いて非常に清潔な環境でした。昨今は喫煙家の肩身もかなり狭くなってきていますが、それよりもっと以前から指定された区画での喫煙が義務付けられ、年々その場所は隅に追いやられていました。

    ご質問の通り、半導体はクリーンルームの中に構築された生産ラインで作られます。クリーンルームに入るには、その前にクリーンルーム内で作業するための専用のスーツに着替えます。宇宙服みたいなあれですね。
    人体はゴミの発生源なので、これを防ぐためにマスクを着用し、全身を覆うスーツを身にまといます。しっかりと手を洗浄し、手袋もします。
    それから、クリーンルームの手前の部屋にいったん入り、身体を動かしながら空気のシャワーを浴びてゴミを吹き飛ばして除去します。また、接着シートの上で足踏みをしてシューズの裏のゴミを除去したりします。
    これらは全てクリーンルーム内にゴミを持ち込まないための対策です。

    最初の頃、私はマスク着用に馴染めず息苦しかったり、息遣いが上手くできず眼鏡がよく曇ったりしていました。慣れるまでに少し時間がかかりましたが、一度慣れてしまったらその後は全く大丈夫でした。

    半導体の製造では、装置を操作したり、危険な薬品やガスも取り扱うので、ある意味危険を伴っています。しかし、きちんとした手順の整備や教育も行われますし、装置なども安全仕様に基づいて人が危険から遠ざけるように対策されていますので安全です。
    また、クリーンルームは外界から隔絶された感じがして不安にもなりますが、万一の事態における避難経路の確保や、避難訓練の実施等により対策をとっているので安全は確保されているといえます。

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